Jedná se o modulární heliový detektor pracující na principu hmotnostního spektrometru se zdokonalenou technologií detekce helia Agilent Contra-Flow (detekce He proti směru čerpání turbopumpy) a potlačením pozadí helia. Detektor je vyvinutý a konstruovaný pro integraci do průmyslových systémů pro detekci netěsností (heliových stanic).
Detektor zahrnuje vlastní měřící celu hmotnostního spektrometru, turbomolekulární vývěvu, etalon kalibrované netěsnosti a řídící a komunikační elektroniku. Standardně je vybaven sériovým rozhraním RS232, nebo ProfiNet a analogovými výstupy a číslicovými I/O signály.
Rozsahy citlivosti | 4 pracovní rozsahy pro rozsah 1 × 10-3 to 1 × 10-9 atm-cc/sec |
Minimální detekovatelná netěsnost | 5 × 10-10 atm-cc/sec, 5 × 10-10mbar-l/sec, 5 × 10-11 Pa-m³/sec |
Maximální tlak na vstupu | 5 Torr, 7 mbar, 667 Pa |
Kalibrace | Automatická nebo manuální (interní nebo externí) |
Potlačení pozadí helia | Funkce Auto zero a auto zero < zero |
Analogový výstup | 0-10V, log 1V/dekáda & 2V/dekáda a lineární (DB-9F) |
Rozhraní | RS-232 @9600 baud (DB-9M) |
Diskrétní I/O | Opticky izolované, 5-24VDC výstupy a vstupy (DB-25S) |
Síťový interface | Profinet® I/O (RJ45) |
Napájení | 24VDC ±5%, max. proud 4A (Molex 03-12-1036) |
Pracovní rozsah teplot | 5 to 48 °C |