Čerpací rychlost ISO 160: CFF 10” nebo ISO 200: ISO 250: | N2: 790 l/s N2: 950 l/s N2: 1,050 l/s | He: 820 l/s He: 870 l/s He: 900 l/s | H2: 860 l/s H2: 900 l/s H2: 920 l/s |
Kompresní poměr ISO 160/CF 10”/ISO200 - ISO250 | N2: 1 x 109 | He: 1 x 107 | H2: 1 x 106 |
Mezní tlak* (s minimální doporučenou primární pumpou) | <1 x 10-10 mbar (< 1 x 10-10 Torr) | ||
Vstupní příruba | ISO 160 / ISO 200 ISO 200-F bolted / CF 10” / ISO 200 / ISO 200-F sešroubovaná | ||
Předvstupní příruba | KF40 | ||
Rotační rychlost | 38,000 rpm | ||
Doba spuštění | < 4 min | ||
Doporučená primární pumpa | Olejová: DS 402 Suchá: TS300 | ||
Provozní poloha | Jakákoli | ||
Chlazení | Nucené proudění vzduchu nebo voda | ||
Bakeout teplota | 120 °C na vstupní přírubě max. (CF příruba) 80 °C na vstupní přírubě max. (ISO příruba) | ||
Vibrace | <0.01 μm na vstupní přírubě | ||
Hmotnost [kg] ISO 160 Příruba ISO 200 Příruba CF 10” Příruba ISO 250 Příruba ISO 200-F a 250-F sešroubovaná příruba, CF 10” Příruba | 19 19,4 25,5 21,2 25,5 |