Turbo-V 1K-G - Turbomolekulární vývěva (volitelný typ kotroléru)

Premiérové řešení vakuového čerpání pro povlaky tenkých filmů

Turbo-V 1K-G je více než jen pumpa. Jedná se čerpací systém, který je navržený speciálně pro průmysl, který zpracovává plazma. Její čerpací fáze a celá stavba jsou optimalizovány pro práci s velmi objemnými průtoky argonu za velmi vysokých teplot. Navíc obsahuje zabudovanou nebo oddělenou ovládací elektroniku a bezúdržbová dusíkem proplachovaná ložiska. Všechny tyto vlastnosti činí z Agilent Turbo-V 1K-G optimální čerpací řešení pro průmysl nanášení tenkých vrstev.

Vlastnosti

• První čerpací systém navržený pro konkrétní aplikaci - zařízení povrstvení tenkým filmem
• První plně integrovaný přístup pro maximální produktivitu a provozuschopnost
• Všestranné elektronické rozhraní se softwarem pro snadné ovládání Analogový I/O signál a RS232 / RS485 rozhraní standardem
• Agilent Profibus rozhraní (volitelné)

Technická specifikace

Čerpací rychlost	ISO160	Ar: 750 l/s	N2: 810 l/s	He: 950 l/s	H2: 680 l/s
	ISO200	Ar: 1040 l/s	N2: 1080 l/s	He: 1150 l/s	H2: 730 l/s
Kompresní faktor		Ar: > 5 x 108	N2: > 5x107	He: > 4x104	H2: 1.5x104
Mezní tlak* (s minimální doporučenou primární pumpou)		< 10-10mbar
Vstupní příruba		ISO 160 F, ISO 200 F
Vstupní příruba primimární pumpy		ISO 160	KF25 NW
		ISO 200	KF40 NW
Rotační rychlost		45.500 rpm
Doba spuštění		< 5 minut
Doporučená primární pumpa		> 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602)
Provozní poloha		Jakákoli
Provozní okolní teplota		+5 °C to +35 °C
Napájení	Vstupní napětí		100 - 240 Vac
	Vstupní frekvence		50 – 60 Hz
Komunikační rozhraní	Analog I/O		Standard
	RS232 / RS485		Standard
	Profibus		Volitelně
Rozměry	Výška		290 mm
	Průměr		225 mm
	Hmotnost		26,8 kg

*Dle standard DIN 28 428

Technický výkres