TwisTorr 84FS - Turbomolekulární vývěva TwisTorr 84FS

TwisTorr 84 FS, společně s vývěvou 304 FS, která byla uvedena na trh již dříve, představuje zcela novou kategorii Turbo turbomolekulárních vývěv Agilent Twis Torr. Vývěva 84 FS zavádí nový standard ve třídě turbomolekulárních vývěv s čerpací rychlostí 80 l/s. Tato vývěva v sobě kombinuje nové inovativní  technologie Twis Torr a AFS – Agilent Floating Suspension (plovoucí uložení). Vývěva Twis Torr 304 poskytuje nejlepší parametry ve své třídě a zaručuje vysokou spolehlivost při nízkých provozních nákladech.

Molekulární stupně Twis Torr vytváří vysoký kompresní poměr zejména pro lehké plyny, jako jsou vodík a helium, a tím poskytují vysoký výkon při poměrně vysokém vstupním tlaku (Foreline pressure), což umožňuje použití menších a ekonomicky výhodnějších primárních pump. Technologie Twis Torr umožnila kompaktní a energeticky-efektivní konstrukci rotoru zajišťující nízkou provozní teplotu.
Systém plovoucího uložení AFS významně snižuje vibrace a hlučnost vývěvy a zajišťuje optimální provozní podmínky pro ložiska. Výsledkem je prodloužení životnosti, bezporuchový chod a stabilní parametry po celou dobu provozu vývěvy.
Unikátní bezolejová samomazná ložiska používaná v technologii Twis Torr zcela eliminují údržbu a použití oleje a mazání ložisek. Samozřejmostí je provoz vývěvy v jakékoli poloze.

Turbomolekulární vývěva  Twis Torr 304 FS je dodávána buď s integrovaným kontrolérem, nebo s kontrolérem pro montáž do panelu.

Význačné a užitné vlastnosti

• Inovativní technologie Twis Torr – vysoký kompresní poměr pro lehké plyny a kompaktní konstrukce rotoru poskytuje vynikající parametry s minimálními rozměry
• AFS – Agilent Floating Suspension – plovoucí uložení významně eliminuje vibrace a hlučnost, poskytuje optimální pracovní podmínky pro ložiska, prodlužuje životnost, minimalizuje poruchovost a zajišťuje stabilní parametry po celou dobu provozu při optimálním poměru cena/výkon

Čerpací rychlost	KF 40	CFF 2.75"	ISO 63 / CFF 4.5”
Ar	44 l/s	57 l/s	66 l/s
N2	49 l/s	56 l/s	67 l/s
He	38 l/s	46 l/s	63 l/s
H2	36 l/s	40 l/s	53 l/s
Průtok plynu při plných otáčkách (s doporučenou primární pumpou)	Air cooling (25°C)		Water cooling (25°C, 65 l/h)
N2	100 sccm		100 sccm
Ar	70 sccm		70 sccm
Kompresní poměr & Maximální vstupní tlak	Compression ratio		Foreline tolerance
Ar	> 1.0 x 1011		> 14 mbar
N2	≥ 1.0 x 1011		> 14 mbar
He	2.0 x 106		> 12 mbar
H2	5.0 x 104		> 4 mbar
Mezní tlak s dopuručenou primární pumpou (5 m3/h)	< 8.0 x 10-10 mbar (< 6.0 x 10-10  Torr)
Vstupní příruba	CFF 4.5”, ISO 63
	CFF 2.75”, KF 40
Vstupní příruba primární pumpy	KF16
Rotační rychlost	81,000 rpm (1350 Hz driving frequency)
Doba spuštění	< 2 minutes
Doporučená primární pumpa	Mechanical:			Agilent DS-42/102
	Dry pump:			Agilent SH-110/IDP-3
Provozní pozice	jakákoli
Normální provozní teplota	5 °C to 35 °C
Relativní vlhkost vzduchu	0 - 90 % (not condensing)
Max teplota příruby během bake-out (bez toku plynu)	80°C at inlet flange max (ISO flange)
	120°C at inlet flange max (CFF flange)
Mazání	Permanentní mazání
Požadavky na chlazení	Air flow temperature: (5 to 35 °C ambient)
	Water (mandatory if ambient temperature > 35 °C):
	Water temperature:		15 °C to 25 °C
	Minimum flow:		65 l/h (0.30 GPM)
	Pressure:		2 to 4 bar (45 to 75 psi)
Hlučnost	< 40 dB(A) at 1 meter, full speed
Skladovací teplota	-40° C to 70° C
Max. výška	3000 m
Váha kg (lbs)	Pump ISO 63		2.05 kg
	Pump CFF 4.5”		3.50kg
	Pump CFF 2.75”		3.34kg
	Pump KF 40”		2.37kg
Normy	EMC		61326-1
	Safety (CE/CSA) Regulatory		DIR 2006/42/CE
	ROHS		DIR 2011/65/EU