Turbo-V 2K-G - Turbomolekulární vývěva (Systém)

Premiérové řešení vakuového čerpání pro povlaky tenkých filmů

Turbo-V 2K-G je více než jen pumpa. Jedná se o ucelený čerpací systém, který je navržený speciálně pro průmysl, který zpracovává plazma. Její čerpací fáze a celá stavba jsou optimalizovány pro práci s velmi objemnými průtoky argonu a za velmi vysokých teplot. Navíc obsahuje zabudovanou ovládací elektroniku a integrované větrací a promývací ventily a bezúdržbová ložiska. Všechny tyto vlastnosti činí z Agilent Turbo-V 2K-G optimální čerpací řešení pro průmysl nanášení tenkých vrstev.

Vlastnosti

• První čerpací systém navržený pro konkrétní aplikaci - zařízení povrstvení tenkým filmem
• Nejúčinnější a nejkompaktnější dostupná jednotka
• První plně integrovaný přístup pro maximální produktivitu a provozuschopnost
• Integrovaný balík zahrnuje turbomolekulární pumpu, elektroniku pohonu (kontrolér), napájení, MoniTorr, promývání plynem a komunikace
• Všestranné elektronické rozhraní se softwarem pro snadné ovládání Analogový I/O signál a RS232 / RS485 rozhraní standardem
• Agilent Profibus rozhraní (volitelné)

Technická specifikace

Čerpací rychlost		N2: 1600 l/s
Kompresní faktor		N2: 3 x 105
Základní tlak* (s minimální doporučenou primární pumpou)		< 1-8 mbar
Vstupní příruba		ISO 250 F
Předvstupní příruba		KF40 NW
Rotační rychlost		33,000 rpm
Doba spuštění		< 7 minut
Doporučená primární pumpa		> 40 m3/h
Provozní poloha		Jakákoli
Provozní okolní teplota		+5 °C to +40 °C
Napájení	Vstupní napětí	100 - 240 Vac
	Vstupní frekvence	50 – 60 Hz
Komunikační rozhraní	Analog I/O	Standard
	RS232 / RS485	Standard
	Profibus	Volitelně
Rozměry	Výška	335 mm
	Průměr	335 mm
	Hmotnost	35 kg

*Dle standard DIN 28 428

Technický výkres