Vstupní příruba | 4½ in. ConFlat příruba nebo ISO-63 příruba nebo KF NW40 příruba |
Čerpací rychlost s ISO-63 nebo 4½ in. CF přírubou | |
Dusík | 60 l/s |
Helium | 55 l/s |
Vodík | 40 l/s |
Čerpací rychlost s KF-40 přírubou | |
Dusík | 40 l/s |
Helium | 45 l/s |
Vodík | 36 l/s |
Mezní tlak | 5 × 10-8 mbar 3,75 × 10-8 torr |
Doba odčerpání (objem 1l) | 60 s na 24 mbar 120 s na 1 × 10-4 mbar 160 s na 7 × 10-5 mbar |
Rotační rychlost turbopumpy | 80.000 rpm |
Doba spuštění | Méně než 2 minuty |
Provozní poloha | Jakákoli |
Hmotnost | |
ISO nebo KF příruba | 7,5 kg |
ConFlat® příruba | 8,3 kg |
Provozní teplota okolí | 5 °C až 35 °C |
Vstupní napětí a frekvence | 90V až 240V AC, 50 Hz až 60 Hz |
Maximální vstupní proud | 220 VA |
Bakeout teplota | |
ConFlat příruba | 120 °C na vstupu |
ISO nebo KF příruba | 80 °C na vstupu |
Sériové komunikace | RS-232 kabel, 9-pinový D-typ samec, 9-pinový D-typ samice, T-Plus Navigátor software, volitelně |