TPS mobil/stolní - Turbomolekulární čerpací systém

Integrovaná řešení s turbopumpami

TPS-mobilní

Plně otočný vozík, vysokokapacitní systémy, s vysokým kompresním poměrem a širokým rozsahem čerpacích rychlostí. 14 různých konfigurací, s Varian Turbo-V 81, 301 a novými Agilent Turbo-V 750 TwistTorr & suchými scroll (nová unikátní IDP-3, SH-110, TS 300/600) nebo DS mechanickými olejovými pumpami. Měrky a vakuové příslušenství pro zakázkové systémy. T-Plus Navigator software, certifikát Semi S2-0200.

TPS-stolní

Stolní, kompaktní a spolehlivé vakuové řešení. 5 možných standardních konfigurací s Turbo-V 81 nebo Turbo-V 301 Navigator, kterým poskytuje zálohu SH-110 suchá scroll pumpa, DS42 nebo DS102 rotační olejová vakuová pumpa. Měrky a vakuové příslušenství pro zakázkové systémy. T-Plus Navigator software, certifikát Semi S2-0200.

Vlastnosti

• Rychlé, čisté, suché odčerpání z atmosféry na 10^-10 mbar
• Monitor tlaku
• Přenosné a kompaktní
• Varian turbopumpy: bezúdržbové
• Nízké provozní náklady

Technická specifikace

Turbomolekulární pumpy

Model Turbo pumpy	Vstupní příruba
TURBO-V 81-M PUMPA	ISO 63, KF 40, CFF 4 1⁄2
TURBO-V301 NAVIGATOR PUMPA	ISO 100, CFF 6”
TURBO-V750 TWIST TORR PUMPA	ISO 160, CFF 8”, CFF 6"

 Primární pumpy

Suché Scroll Pumpy	Max čerpací rychlost při 50 Hz
IDP-3	3,0 m3/h
Jednofázová SH110	5,4 m3/h
TriScroll 300, jednofázová s izolačním ventilem (VPI)	12,6 m3/h
TriScroll 600, jednofázová s izolačním ventilem (VPI)	25,2 m3/h
Dvoustupňové Olejové Rotační Pumpy	Čerpací rychlost při 50 Hz
DS-42 (jednofázový motor)	1,8 m3/h
DS-102 (jednofázový motor)	5,0 m3/h
DS-302 (jednofázový motor)	11,6 m3/h
DS-402 (jednofázový motor)	17,4 m3/h

Technický výkres