TSP - Titanová sublimační pumpa

Nejlepší volba pro prostředí ultra vysokého UH vakua

Titanová sublimační pumpa je nejlepší volba pro vytvoření prostředí ultra vysokého vakua pro určité aplikace. Modul Agilent titanové sublimace dosahuje extrémně velkých čerpacích rychlostí pro getterovatelné plyny, zatímco mechanismus iontového čerpání se postará o negetterovatelné plyny, jako jsou argon a metan.

Pumpa VacIon Plus kombinace je VacIon Plus 150, 300 nebo 500 s extra namontovaným na bok nebo na spodek 8 palcovým portem ConFlat příruby. Sublimační kryopanel, který obsahuje zdroj titanového žhavicího vlákna je namontovaný na extra portu.

Vlastnosti

• Nejlepší volba pro UHV prostředí
• Modul titanové sublimace poskytuje velmi vysoké čerpací rychlosti pro getterovatelné plyny
• Mechanismus iontového čerpání se stará o negetterovatelné plyny
• Kryopanel může být namontovaný buďto na straně nebo zespodu, aby se vyhovělo výškovým omezením

Technická specifikace

TSP zdroj kazeta s žhavicím vláknem
Spotřeba titanu (na vlákno)	1,1 gramu
Celková spotřeba	3,3 gramu
Provozní rozpětí	10-4 až 10-12 mbar
Zdroj Mini Ti-kulička
Spotřeba titanu	15,2 gramu
Provozní rozpětí	10-4 až 10-12 mbar
TSP Kryopanel
Čerpací rychlost při 20 °C chlazeno vodou (l/s)	N2: 515 H2: 1200 H2O: 575
Vnitřní čerpací povrch (cm2)	826
Hlavní příruba	8” CF (NW150)
Objem nádrže (litry)	1,8
Připojení chlazení	3⁄8” G
Příruba zdroje titanu	2 3⁄4” CF
TSP kontrolér TSP kazeta a Mini Ti-kulička - konvenční
Vstupní napájení	90 – 130 VAC 180 – 265 VAC 1 fáze 50/60 Hz
Výstupní proud	0 až 50A
Výstupní napájení	500 W maximum
Provozní módy	Automatický nebo manuální Programovatelný proud sublimace, doba chodu a doba startu
Napájecí kabel	3 metry
Kabely (objednávat zvlášť)	9240730 pro TSP vlákno (9160050) 9240752 pro mini Ti-kuličku (9160009)

Technický nákres typu žhavicího vlákna

Technický nákres typu kuličky