Do této kategorie spadají Integrované regulátory tlaku, Regulátory poměru průtoku a Hmotnostní kontrolery s vysokou přesností In-Situ. Používají ve vakuových komorách k řízení průtoku plynu vstupujícího do vakuové komory a vystupujícího z ní, k měření poměru průtoku procesních plynů. |