Hmotnostní regulátory řady C (MFC) jsou kompaktní modely s rychlou odezvou, které využívají senzor průtoku založený na mikroelektromechanických systémech (MEMS) pro aplikace s nekorozivními plyny. Jsou k dispozici s maximálními průtokovými rychlostmi od 15 do 14 000 sccm (N2) s regulačním rozsahem od pouhých 0,1 % maximálního rozsahu až po 100 % maximálního rozsahu. Jsou k dispozici analogové rozhraní (0 až 5 VDC), RS485, PROFINET® a Modbus. |