E29H Baratron® Etch Manometr disponuje strukturami v pouzdře senzoru, které eliminují ukládání vedlejších produktů procesu na povrch membrány, čímž minimalizují drift. E29H Etch Manometr je teplotně kontrolovaný na buď 45°C nebo 100°C a zahrnuje účinnou elektroniku pro teplotní kontrolu, což zajišťuje vynikající dlouhodobou stabilitu a opakovatelnost.
Teplotně kontrolovaný na 45°C nebo 100°C pro až 0,12% přesnost odečtu
Analogový výstup 0 až 10 VDC proporcionální k absolutnímu tlaku
Plné rozsahy již od 20 mTorr pro přesné měření nízkého tlaku
Měří celkový tlak přímo, nezávisle na složení plynu
Integrovaná sádka pro ochranu před částicemi
Povrchy vystavené médiu jsou odolné proti korozi - Inconel®
Typ | Vakuum/tlakový transducer |
Typ měření | Absolutní |
Teplota senzoru | Kontrolována na 45°C nebo 100°C |
Plné rozsahy tlaku | 0,02 (pouze 45°C), 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100, 1000, 2000, 5000, 10000, 15000, 20000, 25000 Torr |
Analogový výstup | 0-10 VDC do zátěže >10K Ω |
Analogový konektor | 9pinový D-sub |
Koeficient teploty rozsahu | 0,02% odečtu/°C |
Provozní teplotní rozsah | Verze 45°C: 15-40°C Verze 100°C: 15-50°C |
Objem | 6,3 cc |
Čas zahřátí | 2 hodiny pro rozsahy 1-25,000 Torr, 4 hodiny pro rozsahy < 1 Torr |
Limit přetlaku | 45 psia (310 kPa) nebo 120% plného rozsahu, podle toho, co je větší |
Materiály vystavené médiu | Inconel® |
Požadavky na napájení | ±15 VDC±5% @ 0,25 Amps (0,6 Amps pro verzi 100°C) |
Soulad | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.