E27H Vyhřívaný (45 °C) Baratron® s leptacím senzorem 0,02-100 Torr
E27H je řešením pro drift způsobený etch procesem. Na základě průmyslového standardu Baratron® kapacitního manometru vyvinula společnost MKS struktury v senzoru, které téměř eliminují ukládání vedlejších produktů procesu na membránu, což minimalizuje drift. Baratron® manometr E27H je teplotně kontrolovaný na 45°C, s přesností 0,12% odečtu a zahrnuje aktualizovanou elektroniku pro teplotní kontrolu, která poskytuje vynikající dlouhodobou stabilitu a opakovatelnost.
Teplotně kontrolovaný na 45°C pro až 0,12% přesnost odečtu
Analogový výstup 0 až 10 VDC proporcionální k absolutnímu tlaku
Senzor s etch baffle výrazně snižuje schopnost vedlejších produktů dosáhnout senzoru
Plné rozsahy již od 20 mTorr pro přesné měření nízkého tlaku
Všechny plochy, které přicházejí do styku s médiem, jsou odolné proti korozi - Inconel®
Specifikace:
| Typ | Vakuum/tlakový transducer |
| Typ měření | Absolutní |
| Teplota senzoru | Kontrolována na 45°C |
| Plné rozsahy tlaku | 0,02, 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20 a 100 Torr |
| Přesnost | 0,12% odečtu |
| 0,15% pro 0,25, 0,1 a 0,05 Torr | |
| 0,25% pro 0,02 Torr | |
| Analogový výstup | 0-10 VDC do zátěže >10K Ω |
| Analogový konektor | 15pinový D-sub |
| Nulový teplotní koeficient | 0,002% plného rozsahu/°C pro rozsahy 1-100 Torr |
| 0,005% plného rozsahu/°C pro 0,25 a 0,1 Torr | |
| 0,015% plného rozsahu/°C pro 0,05 Torr | |
| 0,03% plného rozsahu/°C pro 0,02 Torr | |
| Koeficient teploty rozsahu | 0,02% odečtu/°C |
| Provozní teplotní rozsah | 15-40°C |
| Objem | 6,3 cc |
| Čas zahřátí | hodiny pro 1 Torr a vyšší, 4 hodiny pro <1 Torr |
| Limit přetlaku | 45 psia (310 kPa) nebo 120% plného rozsahu, podle toho, co je větší |
| Materiály vystavené médiu | Inconel® |
| Požadavky na napájení | ±15 VDC ±5% @ 0,25 Amps (maximum) |
| Soulad | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.