DA07A Vyhřívané a nevyhřívané Baratrony® s EtherCAT® 1-1000 Torr
DA07A Baratron® Kapacitní manometr vychází z toho samého senzoru Inconel® jako průmyslově ověřené série MKS 600 a DA02 Baratron Kapacitní manometr, což zaručuje dlouhou životnost, nízkou údržbu, vynikající odolnost proti korozi a vysoký maximální přetlak. Manometr je vybaven komunikací EtherCAT® s obnovovací frekvencí 1 ms, nominální dobou odezvy na tlak 12 ms, rozsáhlým použitím elektroniky automobilového standardu a rozšířeným maximálním provozním teplotním rozsahem 60°C. Pokročilá elektronika v DA07A dále poskytuje vylepšený poměr signálu k šumu a rychlejší dobu odezvy než průmyslový standard DA02. Dále je možné optimalizovat rozlišení a odezvu analogového i digitálního tlakového signálu pro konkrétní aplikace úpravou nastavení programovatelného filtru.
K dispozici je se standardním senzorem MKS nebo volitelným senzorem přátelským k leštičce/fluoraci/depozici pro zvýšenou stabilitu a snížení procesního indukovaného driftu nuly v kritických aplikacích leptání nebo depozice.
Viz DA05A pro plnotlakové tlaky nižší než 1 Torr/mbar.
Obnovovací frekvence EtherCAT 1 ms
Doba odezvy tlakového signálu 12 ms (nominálně)
Možnosti neohřívaného a ohřívaného na 45°C, 80°C nebo 100°C
Standardní senzor MKS nebo volitelná volba senzoru přátelského k leštičce/fluoraci/depozici
Splňuje aktuální profily ETG Semiconductor Technical Working Group
Specifikace
| Typ | Vakuový/tlakový kapacitní transducer |
| Typ měření | Absolutní |
| Teplota senzoru | Neohřívaná nebo kontrolovaná na 45°C, 80°C nebo 100°C |
| Rozsah plného tlaku | 1, 2, 10, 20, 100, 200, 500, 1000 Torr nebo mbar |
| Přesnost | |
| Neohřívaná | 0,25% z čtení |
| 45°C | 0,10% z čtení |
| 80°C & 100°C | 0,25% z čtení |
| Rozlišení | 0,001% plného rozsahu |
| Doba odezvy na tlak | 12 ms nominálně (10-90% odezvy na krok) ovlivněno velikostí kroku a nastavením digitálního filtru tlaku; Obnovovací frekvence EtherCAT: 1 ms |
| Typ montáže | Trubka o průměru 0,5 palce, 8 VCR (kompatibilní) samice, 8 VCR (kompatibilní) samec, 8 VCR (kompatibilní) samice, krátká trubka, NW16 ISO-KF, 1,33 palce CF (otáčející se) |
| Výstupní signál | Analogový: 0-10 VDC do >10 kΩ zatížení; Digitální: EtherCAT |
| Elektrický konektor | Analogový: 15pinový D-subminiature samčí; EtherCAT: Dva RJ45 samičí konektory pro příchozí a síťové signály |
| Teplotní koeficient nuly | |
| Neohřívaná | 0,015% plného rozsahu/°C pro 1 Torr; 0,010% plného rozsahu/°C pro 2 Torr; 0,005% plného rozsahu/°C pro 10-1000 Torr |
| Ohřívaná | 0,002% plného rozsahu/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu | |
| Neohřívaná | 0,04% z čtení/°C |
| Ohřívaná | 0,02% z čtení/°C |
| Objem | 6,3 cm3 pro těsnění o průměru 0,5 palce. Objemy s jiným těsněním jsou k dispozici na vyžádání. |
| Doba zahřátí | 2 hodiny nominálně (1hodinový stabilizační časovač pro neohřívané) |
| Limit přetlaku | 45 psia (310 kPa) |
| Materiály vystavené procesním plynům | Niklové slitiny |
| Požadavky na napájení | |
| Neohřívané | +24 VDC ±10% @ 150 mA; ±15 VDC @ 180 mA |
| 45°C | +24 VDC ±10% @ 560 mA; ±15 VDC @ 480 mA |
| 80°C a 100°C | +24 VDC ±10% @ 800 mA; ±15 VDC @ 700 mA |
| Výstupní relé | |
| Standardní | Dva solid state relé pro status "senzor připraven" a "porucha zařízení". |
| Volitelné | Dva volitelně vestavěné relé pro spínače tlaku procesu, solid state, nezávisle nastavitelné prostřednictvím EtherCAT zákazníkem na atmosférický tlak od 0,5% do 100% plného rozsahu. |
| Kapacita relé | 0,375 A @ 30 VDC. Relé splňuje požadavky UL1577. |
| Indikátory | Multibarevný stavový LED a dva (2) červeno/zelené LED pro stav komunikace EtherCAT. |
| Shoda | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.