DA06A Vyhřívaný Baratron® s EtherCAT® 0,001-1,0 Torr
DA06A Baratron® Kapacitní manometr poskytuje tři dekády výstupu tlaku s vylepšenou přesností a kalibračními body od 1 Torr do 1 mTorr pro pokročilé procesy jako je leptání a depozice. Navržen s širokým a vysokou přesností měření tlaku, jediný DA06A může být použit místo několika manometrů, čímž se zjednodušuje integrace systému, snižuje celkový mechanický a elektrický hardware systému a kabeláž a uvolňuje cenný prostor v procesní komoře.
3 dekády měření snižují potřebu více manometrů
Splňuje aktuální profily zařízení SEMI® EtherCAT® pro vakuumové manometry
Teplotně kontrolovaný při 45°C, 80°C nebo 100°C
Standardní senzor MKS nebo možnost volby senzoru přátelského k fluoridaci/depozici
Specifikace
| Typ | : Teplotně kontrolovaný kapacitní manometr |
| Přesnost | : |
| 1000 mT do 10 mT | : ±0,4% měření |
| 8 mT | : ±0,5% měření |
| 5 mT | : ±0,7% měření |
| 3 mT | : ±0,8% měření |
| 2 mT | : ±1,0% měření |
| 1 mT | : ±1,5% měření |
| Doba odezvy na tlak | : 12 ms nominálně (10-90% odezvy na krok) ovlivněno velikostí kroku a nastavením digitálního filtru tlaku; Obnovovací frekvence EtherCAT: 1 ms |
| Typ montáže | : Trubka o průměru 0,50 palce, 8 VCR samice, 8 VCR samec, NW16-KF, NW25-KF, Mini-CF (1,33 palce). Kontaktujte společnost MKS, pokud je vyžadováno alternativní těsnění. |
| Výstupní signál | : EtherCAT® |
| Elektrický konektor | : |
| Napájení | : 15pinový D-subminiature samčí |
| EtherCAT | : Dva RJ45 samičí konektory pro příchozí a síťové signály |
| Teplotní koeficient nuly | : 0,002% plné škály/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu | : ±0,02% měření/°C |
| Rozsah provozní teploty | : 15° až 60°C (15-40 pro manometr o teplotě 45°C) |
| Objem | : 6,3 cm3 typicky. Kontaktujte společnost MKS pro objemy s konkrétními těsněními. |
| Doba zahřátí | : 4 hodiny |
| Limit přetlaku | : 45 psia (310 kPA) |
| Materiály vystavené procesním plynům | : Niklové slitiny Inconel® a Incoloy® (Těsnění jsou vyrobeny z nerezové oceli série 300) |
| Požadavky na napájení | : +24 VDC ±10% @ max. 700 mA, ±15 VDC ±5% @ max. 700 mA |
| Indikátory | : Zelená LED běhu a červená LED chyby pro stav EtherCAT a Manometr, Zelený indikátor Link/Activity v pravém dolním rohu konektorů RJ45 |
| Shoda | : CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.