DA05A Vyhřívaný Baratron® s EtherCAT® 0,1-1,0 Torr
DA05A je kapacitní manometr další generace s rozhraním EtherCAT® od společnosti MKS, průmyslového lídra v oblasti manometrů na kapacitní bázi.
DA05A vychází ze stejného senzoru Inconel® jako průmyslově a procesně ověřené MKS 600 Series a DA02 Baratron Kapacitního manometru, což vede k dlouhé životnosti, nízké údržbě, vynikající odolnosti proti korozi a vysokému maximálnímu mezitlaku. Manometr je vybaven komunikací EtherCAT® s obnovovací frekvencí 1 ms, nominální dobou odezvy na tlak 12 ms, rozsáhlým použitím elektroniky automobilového standardu a rozšířenou maximální provozní teplotou okolního prostředí na 60°C. Pokročilá elektronika v DA05A poskytuje lepší poměr signál/šum a rychlejší dobu odezvy než průmyslový standard DA02. Navíc rozlišení a odezva jak analogového, tak digitálního tlakového signálu může být uživatelem optimalizována pro konkrétní aplikaci pomocí nastavení programovatelného filtru.
K dispozici je se standardním senzorem MKS nebo volitelným senzorem vlastního designu pro lepší stabilitu a snížení procesního indukovaného driftu nuly v kritických aplikacích leptání nebo depozice.
Vylepšený poměr signál/šum a konfigurovatelné filtrování umožňuje plné optimalizace úrovně šumu a doby odezvy.
Senzor na bázi Inconelu nabízí vynikající odolnost proti korozi, což umožňuje delší životnost i při extrémních procesních podmínkách
Vysoký maximální mezitlak 45 PSIA chrání senzor před trvalým poškozením vysokými tlakovými výbuchy
Vynikající dlouhodobá stabilita snižuje potřeby údržby
Volitelný senzor vhodný pro leptání/fluoridaci/depozici minimalizuje drift nuly způsobený produkty procesu
Specifikace
| Typ | Vakuový/tlakový transducer |
| Typ měření | Absolutní |
| Teplota senzoru | Kontrolovaná na 45°C, 80°C nebo 100°C |
| Rozsah plné škály tlaku | 0,10, 0,25 Torr (100, 250 mTorr) |
| Přesnost | 45°C: 0,15% měření pro rozsahy <1 Torr, 0,10% měření pro rozsahy =1 Torr 80°C a 100°C: 0,50% měření pro rozsahy <1 Torr, 0,25% měření pro rozsahy =1 Torr |
| Rozlišení | 0,001% plné škály |
| Doba odezvy na tlak | 12 ms nominálně (10-90% odezvy na krok) ovlivněno velikostí kroku a nastavením digitálního filtru tlaku |
| Obnovovací frekvence EtherCAT | 1 ms |
| Typ montáže | Trubka 0,5 palce (12 mm) průměr Kompatibilní s 8 VCR® samci nebo samičkami NW16KF CF průměr 1,33 palce (34 mm) |
| Výstupní signál | Analogový: 0-10 VDC do >10 kΩ zátěže Digitální: EtherCAT |
| Elektrický konektor | Analogový: 15-pin D-subminiature samčí EtherCAT: Dva RJ45 samičí konektory pro příchozí a síťové signály |
| Teplotní koeficient nuly | 45°C: 0,005% plné škály/°C pro rozsahy <1 Torr, 0,002% plné škály/°C pro rozsahy =1 Torr 80°C a 100°C: 0,010% plné škály/°C pro rozsahy <1 Torr, 0,002% plné škály/°C pro rozsahy =1 Torr |
| Teplotní koeficient rozsahu | ±0,02% měření/°C |
| Rozsah provozní teploty | 45°C: 15-40°C 80°C a 100°C: 15-60°C |
| Objem | 6,3 cm³ pro trubku o průměru 0,5 palce Objemy s jiným těsněním jsou k dispozici na vyžádání |
| Doba zahřátí | 4 hodiny nominálně |
| Limit přetlaku | 45 psia (310 kPa) |
| Materiály vystavené procesním plynům | Niklové slitiny Inconel a Incoloy (Těsnění jsou vyrobeny ze slitin nerezové oceli série 300) |
| Požadavky na napájení | 45°C: +24 VDC ±10% @ 560 mA, ±15 VDC @ 480 mA 80°C |
| Shoda | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.