DA03B Vyhřívaný (150-200 °C) absolutní Baratron® s EtherCAT® 1 - 1000 Torr
DA03B zlepšuje procesní schopnosti snížením driftu výstupu. Při provozních teplotách senzoru až do 200°C minimalizuje vysokoteplotní provoz DA03B ukládání procesních vedlejších produktů uvnitř senzoru. Vysokoteplotní provoz společně s velkým senzorem snižuje efekty kontaminace senzoru procesem, což vede ke zvýšené citlivosti a nulovému procesnímu driftu. DA03B využívá stejnou osvědčenou digitální architekturu průmyslového standardu DA02A, což ho činí vhodným pro pokročilé aplikace jako je chemická depozice v parách (CVD), atomární depozice vrstev (ALD), procesy polovodičů a lyofilizace.
Dlouhodobá výkonnost v procesech ALD, CVD, lyofilizace a dalších pokročilých výrobních procesech
Minimalizuje ukládání vedlejších produktů
Poskytuje bezpečnostní ochranu před přehřátím
Vše-Inconelový větší senzor pro nadřazenou citlivost, odolnost proti korozi a dlouhodobou stabilitu
Specifikace
| Typ: | Tlakový transducer |
| Typ senzoru: | Kapacitní manometr |
| Typ měření: | Absolutní |
| Rozsah plné škály: | 1, 2, 3, 5, 10, 20, 100, 1000 Torr |
| Přesnost: | ±0,25% z měření |
| Typ montáže: | Standardní: 0,5 palce (12 mm) průměr trubky |
| Volitelné: Swagelok® 8 VCR® samice, 8 VCR samci, NW16-KF, NW25-KF, Mini-CF, 1,5 palce TriClover, 2 palce TriClover | |
| Analogový výstup: | Analogový 0-10 VDC do >10kΩ zátěže, EtherCAT |
| Spínací relé: | Standardní: Dva (2) vnitřní pevné stavové relé poskytují stav ohřevu "při teplotě" a poruchu ohřevu. Kapacita relé 1 amp při 30 VDC. |
| Volitelné: Dvě (2) interně umístěné relé pro spínání procesního tlaku, pevné stavové, nezávisle nastavitelné zákazníkem na atmosférický tlak od 0,5% do 100% plného rozsahu škály. Kapacita relé 1 amp @ 30 VDC. | |
| Rozlišení: | 0,001% plné škály |
| Teplotní koeficient nuly: | 150°C/160°C: ±0,004% plné škály/°C pro >1 Torr, ±0,008% plné škály/°C pro rozsah 1 Torr |
| 200°C: ±0,008% plné škály/°C pro >1 Torr, ±0,016% plné škály/°C pro rozsah 1 Torr | |
| Teplotní koeficient rozsahu: | ±0,02% z měření/°C |
| Čas odezvy: | Analogové/digitální: 35 ms (nominální), ovlivněno rozsahem tlaku, velikostí kroku a nastavením digitálního filtru tlaku |
| EtherCAT: Frekvence obnovování = 3,3 ms | |
| Doba zahřátí: | 2,5 hodiny typicky |
| Interní objem: | 6,3 cm³ typicky. Kontaktujte společnost MKS pro objemy s konkrétními těsněními. |
| Provozní teplota okolí: | 15 - 50°C |
| Limit přetlaku: | 45 psia |
| Materiály vystavené procesním plynům: | Niklové slitiny Inconel® a Incoloy® (některé volby těsnění jsou ze slitin série 300 nerez oceli) |
| Požadavky na napájení: | ±15 VDC @ 1,6 A nebo +24 VDC @ 1,3 A při startu (nastavení v továrně) |
| Požadavky na okolní proudění vzduchu: | Modely 150/160°C: 50 stop/min pro okolní teploty 40 - 50°C, Modely 200°C: 150 stop/min pro okolní teploty 40 - 50°C |
| Shoda: | CE, UL1577 (pouze spínací relé) |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.