631F Vyhřívaný (150 nebo 200 °C) Absolutní Baratron® 1-1000 Torr
631F 1-1000 Torr, ohřívaný (150 nebo 200°C) Absolutní Baratron® kapacitní manometr, který pracuje při velmi vysokých vnitřních teplotách, minimalizuje ukládání vedlejších produktů procesu v senzoru téměř eliminací výstupního driftu způsobeného kontaminací. Jeho dostupné provozní teploty jsou 150°C nebo 200°C, což umožňuje použití v nejnáročnějších vakuových procesech ve výrobě polovodičů, jako je například leptání kovů a chemická depozice nitridových filmů (CVD).
Provozní teploty 150°C nebo 200°C snižují kontaminaci
Analogový výstup 0 až 10 VDC proporcionální k absolutnímu tlaku
Dva volitelné spínací relé tlaku pro ovládání externího zařízení
Senzor Inconel® odolává korozi
Výkon není ovlivněn tlakovými rázy
Kompaktní design a integrovaná elektronika šetří místo
Specifikace:
| Typ | : Vakuum/tlakový transducer |
| Typ měření | : Absolutní |
| Plné rozsahy tlaku | : 1, 2, 10, 30, 100 a 1000 Torr |
| Teplota senzoru | : Kontrolována na 150°C nebo 200°C |
| Přesnost | : 0,50% odečtu |
| Analogový výstup | : 0-10 VDC do zátěže >10 kΩ |
| Analogový konektor | : 15pinový D-sub |
| Spínací relé | : 2 interně zabudovaná relé pro spouštění procesu tlaku, nezávisle nastavitelná od 0,5% do 100% plného rozsahu |
| Rozlišení | : 0,01% plného rozsahu |
| Nulový teplotní koeficient | : |
| Verze 150°C | : 0,004% FS/°C (0,008% plného rozsahu/°C pro rozsah 1 Torr) |
| Verze 200°C | : 0,008% FS/°C (0,016% plného rozsahu/°C pro rozsah 1 Torr) |
| Koeficient teploty rozsahu | : 0,02% odečtu/°C |
| Doba odezvy | : 50 ms |
| Čas zahřátí | : 4 hodiny |
| Interní objem | : v |
| Provozní teplotní rozsah | : 15-50°C |
| Limit přetlaku | : 45 psia (310 kPa) |
| Materiály vystavené procesním plynům | : Niklové slitiny Inconel® nebo Incoloy® |
| Požadavky na napájení | : ±15 VDC (±5%) @ max. 1,0 A |
| Požadavky na průtok vzduchu | : Verze 150°C: 50 ft/min pro okolní teploty 45-50°C, Verze 200°C: 150 ft/min pro okolní teploty 45-50°C |
| Soulad | : CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.