974B QuadMag™ MicroPirani™ - Piezoelektrické Vakuové Měrky se studenou katodou
974B QuadMag™ vakuový převodník nabízí měřicí rozsah od 1x10⁻⁸ do 1500 Torr a kombinuje technologie senzorů s invertním magnetronem se studenou katodou, MicroPirani a Piezo diferenční senzory. 974B byl specificky navržen pro měření tlaku v vakuovém loadlocku. Má schopnost nahradit více měřicích zařízení na loadlocku s absolutním měřením tlaku od atmosféry do 10⁻⁸ Torr a schopnostmi přepínání atmosféry. To umožňuje OEM výrobcům snížit náklady díky zjednodušenému návrhu loadlocku.
Absolutní měření: od 10⁻⁸ Torr do atmosféry
Anodový modul se studenou katodou: Uživatelsky servisovatelný pro snížení prostojů
Senzor na bázi MEMS MicroPirani: Umožňuje nízký tlak automatického zapnutí studené katody
Jednoduchá obsluha: Pomocí analogového výstupu, RS232 a RS485
Volitelný integrovaný dotykový displej: K dispozici pro místní indikaci tlaku
Kompaktní design: Poskytuje kompaktní řešení převodníku
Specifikace
| Rozsah měření absolutního tlaku | 1.0 x 10⁻⁸ do 1500 Torr |
| Rozsah měření diferenčního tlaku | -760 do +760 Torr |
| Digitální komunikace | RS485 nebo RS232 |
| Typ | Vakuový převodník |
| Senzor | Studená katoda - MicroPirani™ - Piezo diferenční |
| Relé | 3 relé, SPST |
| Instalační orientace | Libovolná |
| Rozsah nastavovacího bodu | Absolutní: 1 x 10⁻⁸ Torr do 1000 Torr, Diferenciální: -760 do +100 Torr |
| Kalibrační plyn | Dusík |
| Provozní teplota | 0-40°C (32-104°F) |
| Maximální teplota vypalování | 85°C (185°F), mimo provoz |
| Digitální ovládání | Jednotky tlaku, rychlost přenosu, adresa, tovární nastavení, uživatelský tag, RS485 test, korekce plynu; funkce nastavovacího bodu: hodnota, hystereze, směr, HV povolení, ochrana, řízení nastavovacího bodu, typ plynu |
| Digitální stav | Čtení tlaku a jednotky, nastavovací bod, teplota převodníku, uživatelský tag, model, typ zařízení, sériové číslo, verze firmware a hardware |
| Analogový výstup | 0.5 VDC/dekáda |
| Hodnocení kontaktu relé | 1 A @ 30VAC/DC odporové |
| Požadavky na napájení | 9-30 VDC, 2 W |
| Přesnost | 5 x 10⁻⁸ Torr do 10⁻³: ± 30% z čtení, 10⁻³ do 50: ±2% z čtení, 50 do 1000 Torr: ±1% z čtení |
| Piezo diferenční | -10 do +10 Torr: ±10% z čtení, -100 do -10 Torr: ±8% z čtení, -760 do -100 Torr: ±1% z čtení, +10 do 100 Torr: ±5% z čtení |
| Opakovatelnost Piezo diferenční | -760 do +10 Torr ±1% z čtení |
| Stabilita nuly Piezo diferenční | ±0.1% z plného rozsahu (F.S. = 760 Torr) |
| Limit přetlaku | 1500 Torr |
| Vnitřní objem | 21 cc |
| Vystavené materiály | Nerezová ocel 304 a 403, křemík, SiO₂, SiN₄, zlato, Viton®, epoxidová pryskyřice, keramika |
| Elektronické pouzdro a příruba | Nerezová ocel 304 |
| Hmotnost | 12.7 oz (360 g) |
| Shoda | CE |
| Konektory | 15-pin D-subminiature samec |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.