972B DualMag™ MicroPirani™ Vakuové Měrky se studenou katodou
972B DualMag™ vakuový převodník nabízí měřicí rozsah od 1x10⁻⁸ Torr do atmosférického tlaku a kombinuje technologii senzorů s invertním magnetronem se studenou katodou a technologii MEMS senzoru s tepelnou vodivostí MicroPirani. MicroPirani automaticky řídí senzor studené katody, aby zajistil optimální zapalovací tlak a současně nabízel o 1-2 dekády nižší měřicí rozsah než tradiční pirani měřidlo. Snížením aktivačního tlaku měřidla se studenou katodou se zlepšuje spolehlivost a prodlužuje interval servisu.
Měření absolutního tlaku od 10⁻⁸ Torr do atmosféry
Design anody se studenou katodou je uživatelsky servisovatelný pro snížení prostojů
RS232, RS485 nebo EtherCAT®/Analogová komunikace
MEMS senzor na bázi MicroPirani pro nízký tlak automatického zapnutí studené katody
MicroPirani je automaticky nulován během cyklu odsávání pro zlepšenou přesnost
Malý rozměr poskytuje kompaktní řešení převodníku
Specifikace
| Rozsah měření | 1 x 10⁻⁸ Torr do atmosféry |
| Digitální komunikace | RS485, RS232 nebo EtherCAT |
| Typ | Vakuový převodník |
| Senzor | Studená katoda - MicroPirani™ |
| Relé | 3 relé, SPST |
| Instalační orientace | Libovolná |
| Rozsah nastavovacího bodu | 1 x 10⁻⁸ Torr do atmosféry |
| Kalibrační plyn | Dusík |
| Provozní teplota | 0-40°C (32-104°F) |
| Maximální teplota vypalování | 85°C (185°F), mimo provoz |
| Digitální ovládání | Jednotky tlaku, rychlost přenosu, adresa, tovární nastavení, uživatelský tag, RS485 test, korekce plynu; funkce nastavovacího bodu: hodnota, hystereze, směr, HV povolení, ochrana, řízení nastavovacího bodu, typ plynu |
| Digitální stav | Čtení tlaku a jednotky, nastavovací bod, teplota převodníku, uživatelský tag, model, typ zařízení, sériové číslo, verze firmware a hardware |
| Analogový výstup | 0.5 VDC na dekádu |
| Hodnocení kontaktu relé | 1 A @ 30VAC/DC odporové |
| Požadavky na napájení | 9-30 VDC, 2 W |
| Přesnost | 5 x 10⁻⁸ Torr do 10⁻³ ± 30% z čtení; 10⁻³ do 100 ±5% z čtení |
| Opakovatelnost | 5 x 10⁻⁸ Torr do 10⁻³ ± 30% z čtení; 10⁻³ do 100 ±2% z čtení |
| Limit přetlaku | 1500 Torr |
| Vnitřní objem | 21 cc |
| Vystavené materiály | Nerezová ocel 304 a 403, křemík, SiO₂, SiN₄, zlato, Viton®, epoxidová pryskyřice, keramika |
| Elektronické pouzdro a příruba | Nerezová ocel 304 |
| Hmotnost | 12.7 oz (360 g) |
| Shoda | CE |
| Konektory | RS232 nebo RS485: 15-pin D-subminiature samec; EtherCAT: Jeden 15-pin D-subminiature samec, dva RJ45 samice |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.