901P MicroPirani™ - Piezoelektrické Měrky
Navrženo speciálně pro prostředí s naložením, 901 Plus (901P) Loadlock Transducer (LLT) kombinuje Piezo a Micro Pirani™ vakuovou senzorovou technologii. Kombinovaný výstup poskytuje výrazně vyšší přesnost, stabilitu, opakovatelnost a rychlejší odezvu než konvenční tepelné vodivostní měřiče.
Měření absolutního tlaku od 1 000 do 10⁻⁵ Torr
Funkčnost tří senzorů v jednom převodníku pro široký rozsah měření
Verze Analog, RS232, RS485 a EtherCAT®
Volitelný integrovaný dotykový displej dostupný pro lokální indikaci tlaku
Rychlé, přesné a opakovatelné měření tlaku zkracuje čas cyklu procesu
Tři volitelné nastavené body s rychlou odezvou pro spolehlivé řízení procesu
Specifikace
| Rozsah měření absolutního tlaku | 1,0 x 10⁻⁵ až 1500 Torr |
| Rozsah měření diferenciálního tlaku | -760 až +760 Torr |
| Digitální komunikace | RS485/RS232 (4800 až 230400 Baud) |
| Senzor | MicroPirani™ (MEMS tepelná vodivost), Piezo diferenciální (MEMS membrána) |
| Relé | 3 relé SPDT (volitelně) |
| Rozsah nastavení bodů | Absolutní: 5,0 x 10⁻⁴ až 1000 Torr; Diferenciální: -760 až +100 Torr |
| Kalibrační plyn | Vzduch, Argon, Helium, Dusík, H₂, H₂O pára, CO₂, xenon, neon |
| Provozní teplota | 0° až 40°C (32° až 104°F) |
| Maximální teplota vypalování | 85°C (185°F), mimo provoz |
| Digitální ovládání | Nastavení nuly, nastavení rozsahu, analogový výstup, jednotky tlaku, přenosová rychlost, adresa, tovární nastavení, funkce nastaveného bodu: hodnota, hystereze, směr, povolení, stav převodníku, spínač, test LED |
| Digitální stav | Čtení absolutního a diferenciálního tlaku, jednotky, nastavené body, provozní čas, teplota převodníku, uživatelský štítek, model, typ zařízení, sériové číslo, verze firmwaru a hardwaru, číslo dílu, výrobce |
| Analogový výstup | Absolutní tlak: 1 až 9 VDC, 1 VDC/dekáda, maximální výstupní impedance 100Ω (16 bitů) |
| Volitelný analogový výstup 2 | Piezo diferenciální: 5 VDC = 0 Torr, 1 VDC/dekáda (12 bitů) |
| Hodnocení kontaktu relé | 1 A @ 30 VAC/DC, odporové |
| Odezva relé | maximálně 100 msec |
| Požadavky na napájení | RS232/RS485: 9 až 30 VDC, < 1,2 wattů max; EtherCAT: 9 až 30 VDC, < 2 wattů max |
| Přesnost MicroPirani | 5 x 10⁻⁴ až 1 x 10⁻³ Torr ±10% z čtení; 1 x 10⁻³ až 100 Torr ±5% z čtení; 100 Torr až Atm ±25% z čtení |
| Opakovatelnost MicroPirani | 1 x 10⁻³ až 100 Torr ±2% z čtení |
| Přesnost Piezo diferenciální | -10 až +10 Torr ±10% z čtení; -100 až -10 Torr ±8% z čtení; -760 až -100 Torr ±1% z čtení; +10 až 100 Torr ±5% z čtení |
| Opakovatelnost Piezo diferenciální | -760 až +10 Torr ±1% z čtení |
| Stabilita nuly Piezo diferenciální | ±0,1% plného rozsahu (plný rozsah = 760 Torr) |
| Limit přetlaku | 1500 Torr (absolutní) |
| Vnitřní objem | (KF16) 2,8 cc |
| Vystavené materiály | Křemík, SiO₂, Si₃N₄, zlato, epoxidová pryskyřice s nízkým vývinem plynů, nerezová ocel 304, Viton® |
| Elektronické pouzdro a příruba | Nerezová ocel 304 |
| Hmotnost | 170 g (s KF 16 přírubou) |
| Shoda | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.