Turbomolekulární vývěva TwisTorr 84FS
TwisTorr 84 FS, společně s vývěvou 305 FS, která byla uvedena na trh již dříve, představuje zcela novou kategorii Turbo turbomolekulárních vývěv Agilent Twis Torr. Vývěva 84 FS zavádí nový standard ve třídě turbomolekulárních vývěv s čerpací rychlostí 80 l/s. Tato vývěva v sobě kombinuje nové inovativní technologie Twis Torr a AFS – Agilent Floating Suspension (plovoucí uložení). Vývěva Twis Torr 84 poskytuje nejlepší parametry ve své třídě a zaručuje vysokou spolehlivost při nízkých provozních nákladech.
Molekulární stupně Twis Torr vytváří vysoký kompresní poměr zejména pro lehké plyny, jako jsou vodík a helium, a tím poskytují vysoký výkon při poměrně vysokém vstupním tlaku (Foreline pressure), což umožňuje použití menších a ekonomicky výhodnějších primárních pump. Technologie Twis Torr umožnila kompaktní a energeticky-efektivní konstrukci rotoru zajišťující nízkou provozní teplotu.
Systém plovoucího uložení AFS významně snižuje vibrace a hlučnost vývěvy a zajišťuje optimální provozní podmínky pro ložiska. Výsledkem je prodloužení životnosti, bezporuchový chod a stabilní parametry po celou dobu provozu vývěvy.
Unikátní bezolejová samomazná ložiska používaná v technologii Twis Torr zcela eliminují údržbu a použití oleje a mazání ložisek. Samozřejmostí je provoz vývěvy v jakékoli poloze.
Význačné a užitné vlastnosti
-
Inovativní technologie Twis Torr – vysoký kompresní poměr pro lehké plyny a kompaktní konstrukce rotoru poskytuje vynikající parametry s minimálními rozměry
-
AFS – Agilent Floating Suspension – plovoucí uložení významně eliminuje vibrace a hlučnost, poskytuje optimální pracovní podmínky pro ložiska, prodlužuje životnost, minimalizuje poruchovost a zajišťuje stabilní parametry po celou dobu provozu při optimálním poměru cena/výkon
Technická specifikace TwisTorr 84 FS
|
Čerpací rychlost |
KF 40 |
CFF 2.75" |
ISO 63 / CFF 4.5” |
|
Ar |
44 l/s |
57 l/s |
66 l/s |
|
N2 |
49 l/s |
56 l/s |
67 l/s |
|
He |
38 l/s |
46 l/s |
63 l/s |
|
H2 |
36 l/s |
40 l/s |
53 l/s |
|
Průtok plynu při plných otáčkách (s doporučenou primární pumpou) |
Air cooling (25°C) |
Water cooling (25°C, 65 l/h) |
|
|
N2 |
100 sccm |
100 sccm |
|
|
Ar |
70 sccm |
70 sccm |
|
|
Kompresní poměr & Maximální vstupní tlak |
Compression ratio |
Foreline tolerance |
|
|
Ar |
> 1.0 x 1011 |
> 14 mbar |
|
|
N2 |
≥ 1.0 x 1011 |
> 14 mbar |
|
|
He |
2.0 x 106 |
> 12 mbar |
|
|
H2 |
5.0 x 104 |
> 4 mbar |
|
|
Mezní tlak s dopuručenou primární pumpou (5 m3/h) |
< 8.0 x 10-10 mbar (< 6.0 x 10-10 Torr) |
||
|
Vstupní příruba |
CFF 4.5”, ISO 63 |
||
|
CFF 2.75”, KF 40 |
|||
|
Vstupní příruba primární pumpy |
KF16 |
||
|
Rotační rychlost |
81,000 rpm (1350 Hz driving frequency) |
||
|
Doba spuštění |
< 2 minutes |
||
|
Doporučená primární pumpa |
Mechanical: |
Agilent DS-42/102 |
|
|
Dry pump: |
Agilent SH-110/IDP-3 |
||
|
Provozní pozice |
jakákoli |
||
|
Normální provozní teplota |
5 °C to 35 °C |
||
|
Relativní vlhkost vzduchu |
0 - 90 % (not condensing) |
||
|
Max teplota příruby během bake-out (bez toku plynu) |
80°C at inlet flange max (ISO flange) |
||
|
120°C at inlet flange max (CFF flange) |
|||
|
Mazání |
Permanentní mazání |
||
|
Požadavky na chlazení |
Air flow temperature: (5 to 35 °C ambient) |
||
|
Water (mandatory if ambient temperature > 35 °C): |
|||
|
Water temperature: |
15 °C to 25 °C |
||
|
Minimum flow: |
65 l/h (0.30 GPM) |
||
|
Pressure: |
2 to 4 bar (45 to 75 psi) |
||
|
Hlučnost |
< 40 dB(A) at 1 meter, full speed |
||
|
Skladovací teplota |
-40° C to 70° C |
||
|
Max. výška |
3000 m |
||
|
Váha kg (lbs) |
Pump ISO 63 |
2.05 kg |
|
|
Pump CFF 4.5” |
3.50kg |
||
|
Pump CFF 2.75” |
3.34kg |
||
|
Pump KF 40” |
2.37kg |
||
|
Normy |
EMC |
61326-1 |
|
|
Safety (CE/CSA) Regulatory |
DIR 2006/42/CE |
||
|
ROHS |
DIR 2011/65/EU |
||
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.