Turbomolekulární vývěva Turbo-V 3K-G

Turbo-V 3K-G je vysokoprůtoková turbomolekulární pumpa, navržená jako dedikovaný vakuový čerpací systém, specificky určená jako turbopumpa pro zařízení na depozici tenkých vrstev. Její čerpací stupně a celá konstrukce pumpy jsou optimalizovány pro práci s velmi vysokými průtoky argonu při vysokém teplotním zatížení.

Díky své robustní konstrukci je tato turbopumpa vhodná pro náročné výrobní prostředí. Typické průmyslové aplikace vakuového pokovování zahrnují výrobu solárních článků a plochých displejů. Turbo-V 3K-G je díky své pevné konstrukci a pokročilé integrované elektronice optimálním řešením pro průmysl vakuového pokovování.

Klíčové vlastnosti:

• Aplikací specifické řešení čerpání navržené pro depozici tenkých vrstev.

• Optimalizováno pro velmi vysoké průtoky argonu.

• Integrovaná pumpa a řídicí systém mohou být instalovány v jakékoli poloze pro jednoduchý provoz s menší prostorovou náročností.

• Schopnost zvládat vysoký průtok plynu, což umožňuje provoz v aplikacích s vysokým průtokem s přírubou DN 250.

• Robustní konstrukce a vysoce efektivní chladicí systém pro nepřetržitý provoz.

• Purge plynu pumpy chrání ložiska pumpy a umožňuje plynulý provoz s kontaminanty a částicemi v systému.

• Nízká úroveň hluku pro nulový dopad na systém.

• Bezúdržbová ložiska pro nulové provozní náklady.

• Bezdrátové ovládání prostřednictvím aplikace Vacuum Link pro pohodlný provoz na cestách a profibus.

• Univerzální elektronické rozhraní, včetně analogových I/O signálů a RS232/RS485 pro dálkové ovládání pomocí softwaru A-Plus.

Technické specifikace:

• Provozní teplota: +5 až +35 °C

• Skladovací teplota: -20 až +70 °C

• Základní tlak: <1 × 10⁻⁸ mbar

• Kompresní poměr (He): 6 × 10³

• Kompresní poměr (N₂): >1 × 10⁷

• Typ příruby: DN 250 ISO-F

• Velikost příruby přívodní větve: KF 40 NW

• Tolerance přívodní větve (N₂): 0,5 mbar

• Nominální otáčky: 31 800 ot./min (530 Hz frekvence pohonu)

• Provozní poloha: Jakákoli

• Rychlost čerpání:

  • Ar: 2050 L/s

  • He: 1900 L/s

  • N₂: 2200 L/s

• Doporučená kapacita předčerpávací pumpy: 60 m³/h

• Standards and Certifications:

  • EN 55011 (Charakteristiky radiového rušení)

  • EN 61000-3-2 (Limity pro harmonické proudové emise)

  • EN 61000-3-3 (Omezení změn napětí, kolísání napětí a blikání)

  • EN 61000-6-2 a EN 61326 (Imunita pro průmyslová prostředí), které zahrnují:

    • EN 61000-4-2 (Jevy elektrostatického výboje)

    • EN 61000-4-3 (Vysokofrekvenční jevy vyzařování)

    • EN 61000-4-4, EN 61000-4-5, EN 61000-4-6 (Vysokofrekvenční jevy vedení)

    • EN 61000-4-11 (Kolísání napětí, poklesy napětí a krátké přerušení)

• Čas spuštění: < 6 minut

• Hmotnost: 52 kg

Turbo-V 3K-G představuje spolehlivé a efektivní čerpací řešení pro široké spektrum aplikací v oblasti vakuového pokovování.