142A nabízí rychlou, přesnou a spolehlivou ochranu pro vakuovou techniku a procesy. 142 je ohřívaný manometr s teplotou 100°C navržený k minimalizaci hromadění procesních odpadů, které mohou nastat při LPCVD nitridu, leptání hliníku a jiných typech procesů. 142A má reléové výstupy, které lze snadno propojit s alarmy, pohony ventilů, počítači, řídicími systémy procesů a dalšími ochrannými zařízeními.
Ohříván pro minimalizaci hromadění procesních odpadů
Plně nastavitelný bod nastavení pro flexibilitu
Celokovová, celosvařovaná konstrukce vystavuje pouze Inconel® a nerezovou ocel pro odolnost proti korozi
Rychlá odezva spínání - 20 ms
Typ | Tlakový spínač |
Typ měření | Absolutní |
Rozsahy plného měřítka | 1, 2, 10, 100, 1000 Torr (mmHg) absolutní |
Rozsah bodu nastavení | 0,2% až 100% plného měřítka |
Teplota senzoru | Teplota řízená na 100°C |
Přesnost | ±0,5% rozsahu (± teplotní koeficienty) |
Koeficient teploty nuly | ±0,015% plného měřítka/°C |
Koeficient teploty rozsahu | ±0,03% bodu nastavení/°C |
Provozní teplotní rozsah | 20° až 70°C |
Doba odezvy | < 20 ms od 0 do plného měřítka |
Vnitřní objem | 7,0 cm³ (jednotky 5K-25K Torr mají objem 8,5 cm³) |
Přetlaková odolnost | 120% plného měřítka nebo 35 psia (1000 mmHg), podle toho, co je vyšší (jednotky s plným měřítkem 1 a 2 Torr mají maximální přetlak 25 psia) |
Požadavky na napájení | 20 až 30 VDC, maximálně 1,2 A (875 mA @ 24 VDC) |
Shoda | Smluvní podmínky směrnice o elektromagnetické kompatibilitě 2014/30/EU |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.