Vysoce přesný In-Situ Hmotnostního Verifikátor
Umožňuje porovnávání „wafer-to-wafer“, „komora-komora“ a „nástroj-nástroj“.
HA-MFV, High Accuracy Mass Flow Verifier, je určen pro použití na procesních nástrojích k ověřování průtoků při řízení hmotnostního průtoku in-situ. Přístroj HA-MFV, který je k dispozici s komunikací EtherCAT® nebo DeviceNet™ a přesností měření 1,0 % odečtu, dokáže ověřit průtok MFC se skutečným procesním plynem podstatně lépe než starší zařízení pro měření rychlosti nárůstu nebo metody měření rychlosti nárůstu v procesní komoře.
Přesnost 1,0 % pro porovnávání procesu mezi destičkami, mezi komorami a mezi nástroji.
Podpora více plynových panelů pro snížení nákladů na implementaci
Rozsah měření 5 až 3000 sccm pro širokou škálu procesů
Vyhodnocení průtoku MFC in-situ zlepšuje řízení procesu a zabraňuje zbytečným prostojům.
Specifikace
| Přesnost ověření hmotnostního průtoku: | ±1,0% z odečtu |
| Rozsah ověření hmotnostního průtoku: | 5 - 3000 sccm (ekvivalent N2) |
| Opakovatelnost: | ±0,5% z odečtu |
| Reprodukovatelnost: | ±0,3% z odečtu |
| Rozsah tlaku: | 100 Torr |
| Přesnost tlaku: | 0,25% z odečtu |
| Důkazní tlak: | 45 psia |
| Průrazový tlak: | 150 psig |
| Minimální tlak pneumatického vzduchu: | 80 psig |
| Maximální tlak pneumatického vzduchu: | 100 psig |
| Teplotní koeficient rozsahu: | <0,002% odečtu/°C |
| Doba zahřátí: | 60 minut |
| Provozní teplota: | 10° až 40°C |
| Ovládací rozhraní: | DeviceNet: 5-pinový konektor DeviceNet Micro, EtherCAT: Duální RJ-45 (komunikace) M8 samčí 5pin (napájení) |
| Diagnostické rozhraní: | Ethernet RJ-45 samice |
| Vstupní napětí: | 11 až 25 VDC |
| Připojení plynného zdroje: | Kompatibilní se Swagelok® 8-VCR® samičí, otočné |
| Připojení vakua: | Kompatibilní se Swagelok® 8-VCR® samčím, otočné |
| Připojení pneumatického vzduchu: | 1/8 palce, rychlé připojení na jedno dotykem |
| Venkovní těsnost proti úniku: | <1 x 10-9 scc/sec He |
| Materiály ve styku s médiem: | 316L SST pasivovaný, Inconel, Incoloy |
| Těsnící materiál: | Niklově pokovený 316 SST |
| Materiál sedla ventilu: | PCTFE s diafragmou Elgiloy® |
| Povrchová úprava: | <32 µ palců Ra |
| Rozměry: | 6,98 x 10,0 x 10,0 palce |
| Hmotnost: | 23,9 liber |
| Shoda: | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.