PPCMA Regulátor Tlaku na Výstupu s Hmotnostním Průtokoměrem
Regulátor tlaku PPCMA s integrovaným hmotnostním průtokoměrem zajišťuje měření a regulaci tlaku a zároveň monitorování hmotnostních průtoků pro kritické procesní aplikace (např. chlazení zadní strany destiček) v kompaktním balení. Regulátor PPCMA využívá špičkovou technologii kapacitního manometru Baratron® pro měření tlaku a patentovaný tepelný průtokoměr pro sledování hmotnostního průtoku plynu. Oba jsou integrovány spolu s proporcionálním regulačním ventilem a nejnovější řídicí elektronikou, která zajišťuje rychlou a přesnou regulaci tlaku s kritickým monitorováním průtoku jako diagnostiku systému.
Rychlá odezva na nastavenou hodnotu s minimálním překmitem
Komunikace DeviceNet™ nebo EtherCAT®
Integrovaná technologie kapacitního manometru Baratron®.
Integrované měření a regulace tlaku s měřením průtoku v jediném balení
Kovově utěsněný, vyrobený v čistých prostorách pro aplikace s vysokou čistotou
Specifikace
| Typ | PPCMA Absolutní tlakový regulátor s hmotnostním průtokoměrem |
| Rozsah tlaku | 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500 nebo 1000 Torr (celý rozsah) |
| Typ připojení | Swagelok® 4 VCR® Male, povrchová montáž 1.5 palce (C-seal) |
| Poloha ventilu | Běžně uzavřeno |
| Sedadlo ventilu | PTFE (Teflon®), Elastomer (Viton®), Buna, Neoprene, EPDM |
| Průtoková rychlost | 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000 (ekvivalent N2) |
| Jednotky tlakového odečtu | Torr, kPa, mBar, psi |
| Rozlišení tlaku | 0.1 Torr |
| Přesnost řízení tlaku | ±1.0% odečtu (≥10% celého rozsahu), ±0.2% celého rozsahu (<10% celého rozsahu) |
| Limit přetlaku transduceru | 2x celý rozsah pro všechny rozsahy |
| Maximální diferenciální tlak | 45 psid |
| Průrazový tlak | 1500 psig |
| Režim řízení | Protiproud |
| Přesnost měření tlaku | ±0.5% odečtu |
| Teplotní koeficient nulového bodu | ±0.02% celého rozsahu/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu | ±0.04% odečtu/°C |
| Řídící rozsah | >5 až 100% celého rozsahu |
| Typická doba odezvy | <1.0 sekundy (kromě systémového časového konstantního) |
| Provozní teplota | 10-50°C (50 až 122°F) |
| Teplota skladování | -20 až 80°C (-4 až 176°F) |
| Vlhkost skladování | 0-95% relativní vlhkosti, nekondenzující |
| Venkovní těsnost proti úniku | <1 x 10-10 (scc/sec He) |
| Těsnost proti úniku přes uzavřený ventil | <1.0% celého rozsahu otvoru (dusík při 25 psig na vstupu do atmosféry) |
| Měřicí rozsah průtoku | 2% až 100% celého rozsahu |
| Opakovatelnost průtoku | ±0.3% odečtu |
| Rozlišení průtoku | 0.1% celého rozsahu |
| Přesnost průtoku | ±1.0% odečtu >20% celého rozsahu; ±0.2% celého rozsahu (<20% celého rozsahu průtoku) |
| Teplotní koeficient rozsahu průtoku | <0.08% odečtu/°C |
| Teplotní koeficient nulového bodu průtoku | <0.05% celého rozsahu/°C |
| Materiály ve styku s médiem | Standardní: 316L S.S. VAR (ekvivalent 316 S.S. SCQ pro polovodičovou kvalitu), 316 S.S., Elgiloy®, KM-45, Inconel® 718, 825 Incoloy® |
| Volitelné | Sedadlo ventilu PTFE (Teflon) nebo Elastomer (Viton) |
| Povrchová úprava | <10 µ palců Ra, elektropolištěno |
| Potřebný výkon | DeviceNet™: +11 až +25 VDC (<4 wattů), EtherCAT®: +24 VDC (<5 wattů) |
| Rozhraní konektoru | DeviceNet™: 5pinový mikro konektor (napájení a komunikace), EtherCAT®: 2 x RJ-45 (komunikace) samec, M8 samec, 5 pinů (napájení) |
| Přepínač datového toku | DeviceNet™: 4 pozice: 125, 250, 500K (Výchozí), (programovatelné přes síť) |
| Rozměry sítě | DeviceNet™: Až 64 uzlů, EtherCAT®: Až 4095 uzlů |
| Indikátory | DeviceNet™: LED Síť (zelená/červená), LED Modul (zelená/červená), EtherCAT®: LED Napájení (zelená), LED Běh (zelená), LED Chyba (červená), LED Komunikace (zelená) |
| Hmotnost | <5 liber (1.36 kg) |
| Shoda | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.