PPCA Vysokovýkonné Integrované Regulátory Tlaku
Regulátor tlaku PPCA zajišťuje měření a regulaci tlaku pro kritické procesní aplikace, jako je regulace tlaku na zadní straně waferu, regulace tlaku v transportní komoře a vyvažování tlaku procesního plynu na panelu. Zařízení lze nakonfigurovat pro regulaci tlaku na vstupu nebo na výstupu. Toho je dosaženo v kompaktním balení, které šetří kritický prostor ve srovnání s předchozími vícesložkovými systémy, které byly pro splnění tohoto úkolu nezbytné.
Systém PPCA využívá k měření tlaku špičkovou technologii kapacitního manometru Baratron® od společnosti MKS Instruments. Je integrován spolu s proporcionálním regulačním ventilem a nejnovější řídicí elektronikou, která zajišťuje rychlou a přesnou regulaci tlaku s kritickým sledováním průtoku jako diagnostiku systému. Přístroj PPCA lze nakonfigurovat pro tlak 10 až 1000 Torr v plném rozsahu stupnice s regulačním rozsahem od 5 do 100 % plného rozsahu stupnice. Díky této konfigurovatelnosti je zařízení vhodné pro regulaci tlaku v transportní komoře, kritickou regulaci tlaku na zadní straně destičky i pro aplikace regulace tlaku při běhu. Regulační ventil lze nakonfigurovat pro průtoky v plném rozsahu stupnice od 5 do 5000 sccm v plném rozsahu stupnice v závislosti na procesních podmínkách.
PPCA je k dispozici s digitálními (DeviceNet™ nebo EtherCAT®) I/O, což umožňuje snadnou integraci do nových nebo modernizovaných aplikací. Ladění na místě a diagnostika komponent jsou rozšířeny prostřednictvím uživatelského rozhraní micro USB přístroje, které je přístupné prakticky přes jakýkoli počítač s webovým prohlížečem.
Chlazení zadní strany waferu
Rychlá odezva na nastavenou hodnotu s minimálním překmitem
Kovově utěsněné jednotky vyráběné v čistých prostorách splňují kritické požadavky aplikací s vysokou čistotou.
Teplotní kompenzace udržuje přesnost zařízení v celém rozsahu provozních teplot
Specifikace
| Typ | PPCA Absolutní tlakový regulátor |
| Rozsah tlaku | 10, 20, 50, 100, 200, 500 nebo 1000 Torr plného rozsahu |
| Typ připojení | Swagelok® 4 VCR samčí |
| Poloha ventilu | Obvykle uzavřená |
| Těsnění ventilu | PTFE (Teflon®) nebo elastomer (Viton®), Buna-N, Neopren, EPDM |
| Průtoková rychlost | 50, 200, 1000, 5000, 10000, 20000, 30000, 50000 (sccm) |
| Jednotky odečtu tlaku | Torr, kPa, mbar |
| Rozlišení tlaku | 0,1 Torr |
| Přesnost regulace tlaku | ±1,0% z odečtu (≥10% plného rozsahu), ±0,2% plného rozsahu (<10% plného rozsahu) |
| Limit přetížení transduceru | 2x plný rozsah pro všechny rozsahy |
| Maximální diferenciální tlak | 45 psid |
| Průrazový tlak | 1500 psig |
| Režim řízení | Přívodní nebo odtokový |
| Přesnost měření tlaku | ±0,5% z odečtu |
| Teplotní koeficient nulového bodu | ±0,02% plného rozsahu/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu | ±0,04% odečtu/°C |
| Regulační rozsah | >5 do 100% plného rozsahu |
| Typický čas odezvy | <1,0 sekundy (kromě systémového časového konstantního) |
| Provozní teplota | 10 až 50°C (50 až 122°F) |
| Teplota skladování | -20 až 80°C (-4 až 176°F) |
| Vlhkost při skladování | 0 až 95% relativní vlhkost, nekondenzující |
| Venkovní těsnost proti úniku | <1 x 10-10 (scc/sec He) |
| Těsnění proti úniku přes uzavřený ventil | <1,0% plného rozsahu trysky (dusík při 25 psig na vstupu do atmosféry), <0,1% plného rozsahu - elastomer |
| Materiály ve styku s médiem | Standardně: 316L S.S. VAR (ekvivalentní s 316 S.S. SCQ pro polovodičovou kvalitu), 316 S.S., Elgiloy®, KM-45, Inconel® 718, 825 Incoloy® |
| Povrchová úprava | <10 μinches, průměrný Ra elektropolist |
| Požadavky na napájení | DeviceNet™: +11 až +25 VDC na (<4 wattů), EtherCAT®: +24 VDC (<5 wattů) |
| Konektor-rozhraní | DeviceNet™: 5 pinový mikro konektor (napájení a komunikace), EtherCAT®: 2 x RJ-45 (komunikace) samčí, M8 samčí, 5 pinový (napájení) |
| Přepínač datové rychlosti | DeviceNet™: 4 pozice: 125, 250, 500K (výchozí) (programovatelné přes síť), EtherCAT®: Bez přepínače |
| Rychlost komunikace EtherCAT | 100 Mbps |
| Rychlost komunikace DeviceNet | 125 Kbps, 250 Kbps, 500 Kbps |
| Přepínače MAC ID | DeviceNet™: 2 přepínače, 10 pozic: 0,0 až 6,3, 1 až 254, EtherCAT®: 3 přepínače, 16 pozic |
| Velikost sítě | DeviceNet™: Až 64 uzlů, EtherCAT®: Až 4095 uzlů |
| Indikátory | DeviceNet™: LED síť (zelená/červená), LED modul (zelená/červená), EtherCAT®: LED napájení (zelená), LED běh (zelená), LED chyba (červená), LED komunikace (zelená) |
| Hmotnost | <3 liber (1,36 kg) |
| Soulad | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.