DELTA IV Regulátor Poměru Průtoku se 4 Zónami
Regulátory hmotnostního průtoku řady DELTA™ rozdělují a řídí průtoky směsných procesních plynů buď do více komor, nebo do zón v rámci procesní komory v poměrech určených uživatelem, aby se optimalizovala rovnoměrnost a opakovatelnost procesu. Regulátory poměru průtoku řady DELTA™ s vynikajícím výkonem a kompaktní konstrukcí jsou nejnovější nabídkou společnosti MKS, která je lídrem v oboru řízení poměru průtoku.
Přesné a opakovatelné řízení průtokového poměru pro lepší optimalizaci procesu.
Digitální regulační smyčka zajišťuje rychlou odezvu na nastavenou hodnotu kanálu nezávisle na směsi plynů
Používá standardní webový prohlížeč bez potřeby speciálního softwaru
Specifikace
| Typ | Regulátor poměru průtoku |
| Plný rozsah průtoku | 500, 1000, 2000, 3000 a 10000 sccm (každý kanál, ekvivalentní dusík-Q) |
| Přesnost procent | ±2% nastavení (pro průtok ≥10% plného rozsahu kanálu) |
| Rozsah řízení průtoku kanálu | 0, 5-100% plného rozsahu |
| Rozsah vstupního průtoku | 0, 2-100% celkového průtoku v rámci rozsahu řízení průtoku kanálu |
| Opakovatelnost procent | ±0,3% nastavení |
| Rozlišení | 0,02% plného rozsahu kanálu |
| Maximální provozní tlak na výstupu | 200 Torr při maximálním průtoku všemi kanály |
| Maximální povolený rozdíl tlaku na výstupu | 50 Torr se stejným procentuálním průtokem všemi kanály |
| Normální provozní tlakový diferenciál | <150 Torr (@ 4K rozdělení 25%); Kromě toho <450 Torr pro 10K/10K |
| Čas ustálení procent | <3 sekundy (typické závislé na shodě s dolním vedením) |
| Maximální vstupní tlak | 150 psig (mimo provoz) |
| Teplotní koeficient nulového bodu | <0,05% plného rozsahu/°C (500 ppm) |
| Teplotní koeficient rozsahu | <0,08% odečtu/°C (800 ppm) |
| Doba zahřátí | 60 minut |
| Provozní teplota | 10-40°C |
| Teplota skladování | -20-65°C |
| Relativní vlhkost skladování | 0-95%, nekondenzující |
| Přesnost teploty | +2°C |
| Rozlišení teploty | 0,1°C |
| Typ připojení | 4 VCR mužský, nenaklápěcí |
| Externí těsnost | <1x10-10 (scc/sec He) |
| Těsnost ventilu při uzavřeném ventilu | <2% plného rozsahu kanálu při 500 Torr diferenciální na <10 Torr |
| Materiály v kontaktu s médiem | 316 S.S. VAR (ekvivalent 316 S.S. SCQ pro polovodičovou kvalitu), 316 S.S., Inconel®, KM-45, PTFE |
| EtherCAT | Hastelloy® |
| Povrchová úprava | Průměrná hodnota Ra 5 mikronů |
| Konektor | EtherCAT: 2 x RJ-45 (komunikační) mužský, M8 mužský, 5 pinů (napájení); DeviceNet: 5 pinový mikrokonektor |
| Komunikace | DeviceNet nebo EtherCAT |
| Shoda | CE (během použití je vyžadováno celkové kovové plátované, stínované kabely, správně uzemněné na obou koncích) |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.