DELTA II Regulátor Poměru Průtoku se 2 Zónami
Regulátory hmotnostního průtoku řady DELTA™ rozdělují a řídí průtoky směsných procesních plynů buď do více komor, nebo do zón v rámci procesní komory v poměrech určených uživatelem, aby se optimalizovala rovnoměrnost a opakovatelnost procesu. Regulátory poměru průtoku řady DELTA™ s vynikajícím výkonem a kompaktní konstrukcí jsou nejnovější nabídkou společnosti MKS, která je lídrem v oboru řízení poměru průtoku.
Přesné a opakovatelné řízení průtokového poměru pro lepší optimalizaci procesu.
Digitální regulační smyčka zajišťuje rychlou odezvu na nastavenou hodnotu kanálu nezávisle na směsi plynů
Používá standardní webový prohlížeč bez potřeby speciálního softwaru
Specifikace
| Typ | Regulátor poměru průtoku |
| Plný rozsah průtoku |
500/500 sccm 1000/1000 sccm 2000/2000 sccm 10000/10000 sccm (N2 ekvivalent) |
| Přesnost poměru | ±2% nastavení (pro procentuální body nastavení nad 10%) |
| Rozsah řízení průtoku kanálu | 0, 5-100% plného rozsahu (EtherCAT) |
| Rozsah vstupního průtoku | 5-100% hodnocení plného rozsahu každého kanálu (N2 ekvivalent) |
| Rozsah řízení poměru | 1:1 až 20:1 a 20:1 až 1:1 |
| Opakovatelnost a reprodukovatelnost poměru | 0,02% plného rozsahu kanálu |
| Rozlišení | 0,02% plného rozsahu kanálu |
| Maximální provozní tlak na výstupu |
EtherCAT: 200 Torr při maximálním průtoku všemi kanály DeviceNet & Analog: 200 Torr |
| Maximální povolený rozdíl tlaku na výstupu |
EtherCAT: 50 Torr se stejným procentuálním průtokem všemi kanály (nejvyšší k nejnižšímu tlakovému kanálu) DeviceNet & Analog: 50 torr (mezi Q1 a Q2) |
| Normální provozní tlakový diferenciál | <150 torr (<450 torr pro 10000/10000) (N2) |
| Čas ustálení poměru |
EtherCAT: <3 sekundy (typické závislé na shodě s dolním vedením) DeviceNet: <3 sekundy |
| Rozsah vstupního poměru | 1:1 až 20:1 a 20:1 až 1:1 (EtherCAT) |
| Opakovatelnost poměru | ±0,3% nastavení |
| Maximální vstupní tlak | 150 psig (mimo provoz) (EtherCAT) |
| Teplotní koeficient nulového bodu |
EtherCAT: <0,05% plného rozsahu/°C DeviceNet & Analog: 0,05% plného rozsahu/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu |
EtherCAT: <0,08% odečtu/°C DeviceNet & Analog: 0,08% odečtu/°C |
| Důkazní tlak | 1000 psig (DeviceNet) |
| Praskací tlak | 1500 psig (DeviceNet) |
| Doba zahřátí |
EtherCAT: 60 minut DeviceNet & Analog: 30 minut |
| Provozní teplota | 10-40°C |
| Teplota skladování | -20-65°C |
| Relativní vlhkost skladování | 0-95%, nekondenzující |
| Přesnost teploty | ±2°C |
| Rozlišení teploty | 0,1°C |
| Typ připojení | 4 VCR mužský (nenaklápěcí) |
| Displej | 4 číslice pro hodnotu, 4 znaky pro jednotku |
| Externí těsnost | <1x10-10 (scc/sec He) |
| Těsnost ventilu při uzavřeném ventilu |
EtherCAT: < 2% plného rozsahu kanálu při 400 Torr diferenciální na < 1 Torr DeviceNet & Analog: <2% plného rozsahu kanálu při 400 Torr diferenciální |
| Materiály v kontaktu s médiem |
316 nerezová ocel VAR, 316 nerezová ocel, Inconel®, KM-45, PTFE EtherCAT: Hastelloy® |
| Povrchová úprava | Průměrná hodnota Ra 5 mikronů |
| Hmotnost | Méně než 5 liber (2,3 kg) |
| Konektor |
Analog: 9-pinový typ "D" mužský DeviceNet: 5-pinový mikrokonektor DeviceNet EtherCAT: 2 x RJ-45 (komunikační) mužský, M8 mužský, 5 pinů (napájení) |
| Požadavky na napájení |
Analog: +15-24 VDC ±5% DeviceNet: 11-25 VDC EtherCAT: 24 VDC ±10% (10 wattů) |
| Spotřeba energie | <9 wattů (DeviceNet) |
| Komunikace | Analogová, DeviceNet nebo EtherCAT |
| Shoda | CE (během použití je vyžadováno celkové kovové plátované, stínované kabely, správně uzemněné na obou koncích) |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.