P4B Hmotnostní měřič vysokého výkonu, pro průtokové rychlosti 5-50,000 sccm
P4B je 1,125“ , víceplynový/vícerozsahový, kovově utěsněný, hmotnostní průtokoměr (MFM). Měřič P4B obsahuje nejnovější digitální elektroniku průtokoměru spolu s osvědčeným patentovaným tepelným senzorem a mechanickou konstrukcí. Digitální elektronika využívá nejnovější algoritmy MKS, které umožňují měření více plynů/více rozsahů. Součástí je digitální kalibrace, která poskytuje 1 % přesnosti odečtu kalibračního plynu.
Pevně řízená přesnost průtoku procesního plynu pro lepší přizpůsobení procesu v komoře.
Vestavěný konfigurační a diagnostický software, který umožňuje uživateli kontrolovat funkčnost MFM bez nutnosti vyjmutí zařízení z nástroje.
Specifikace
| Typ | Hmotnostní průtokový měřič |
| Plný rozsah průtoku | 5-50000 sccm |
| Rozsah měření | 0,1-100 % plného rozsahu (rozsah na mechanismu) |
| Maximální vstupní tlak | 500 psig |
| Tlakový test | 1000 psig |
| Tlakový test (roztržení) | 1500 psig |
| Typická přesnost |
±1% nastavené hodnoty pro 20-100% plného rozsahu ±0,2% plného rozsahu pro 2-20% plného rozsahu |
| Opakovatelnost | ±0,3% odečtu |
| Rozlišení | 0,1% plného rozsahu |
| Teplotní koeficient nulové hodnoty | <0,05% plného rozsahu/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu | <0,08% odečtu/°C |
| Tlakový koeficient | <0,02% odečtu/psi |
| Doba zahřátí | <30 minut (do dosažení 0,2% plného rozsahu výkonnosti v ustáleném stavu) |
| Provozní teplota | 10-50°C |
| Teplota při skladování | -20° až 80°C (-4° až 149° F) |
| Zobrazení teploty | 0-100°C |
| Přesnost teploty | ±2°C |
| Rozlišení teploty | 0,1°C |
| Zobrazení | 4 číslice pro hodnotu, 4 znaky pro jednotku |
| Typ připojení | Kompatibilní s: Swagelok® 4 VCR®, povrchovým montážem o průměru 1,125 palce (C-těsnění, W-těsnění), W-těsnění o průměru 1,5 palce |
| Integrita externích úniků | <1 x 10-10 |
| Materiály ve styku s médiem | 316L S.S. VAR (ekvivalent 316 S.S. SCQ pro polovodičovou kvalitu), 316 S.S. |
| Úprava povrchu | Průměrné Ra 10μ palců |
| Hmotnost | <2,5 lbs (1,1 kg) |
| Shoda | CE |
| Požadavky na napájení | +15 do +24 VDC @ 200mA max |
| Analogový konektor | 15-pin Type “D” Male, 9 pin Type “D” Male |
| Signál vstupu/výstupu průtoku | 0 až 5 VDC |
| Konektor pro DeviceNet | 5 pin mikrokonektor (DeviceNet) |
| Konektor pro RS485 | 9 pin Type “D” Male |
Chci cenovou nabídku
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Potřebujete se poradit?
Nejste si jistí, jaký přístroj bude pro vás ten pravý? Nebo byste nějaký potřebovali upravit na míru? Naši experti jsou připraveni vás do všeho zasvětit.
Chci se poradit
LABTECH s.r.o. Polní 23/340 Brno
Grafické zpracování GLIPS.