Digitálně řízený regulátor hmotnostního průtoku GE50A řady G je k dispozici s rozhraním RS485, Profibus™, EtherCAT®, PROFINET nebo DeviceNet™ I/O. Digitální řídicí elektronika využívá nejnovější řídicí algoritmy MKS pro rychlou a opakovatelnou odezvu na žádanou hodnotu v celém regulačním rozsahu zařízení. Typické doby odezvy se pohybují v řádu 500 milisekund. Digitální kalibrace poskytuje přesnost 1 % nastavené hodnoty na kalibrační plyn.
Typ | Regulátor hmotnostního průtoku |
Plný rozsah průtoku | 5 - 50 000 sccm |
Regulační rozsah | 2% až 100% plného rozsahu |
Materiál těsnění | Viton, Buna-N, Neopren nebo Kalrez |
Analogový konektor | 9-pin nebo 15-pin D-subminiatura |
Maximální vstupní tlak | 150 psig |
Normální provozní tlakový rozdíl | 10 až 5000 sccm; 10 až 40 psid, 10 000 až 20 000 sccm; 15 až 40 psid, 30 000 až 50 000 sccm; 25 až 40 psid |
Zkouškový tlak | 1000 psig |
Praskací tlak | 1500 psig |
Typická přesnost | ±1% nastavené hodnoty pro 20 až 100% plného rozsahu, ±0.2% plného rozsahu pro 2 až 20% plného rozsahu |
Opakovatelnost | ±0.3% čtení |
Rozlišení | 0.1% plného rozsahu |
Teplotní koeficient nulové hodnoty | <0.05% plného rozsahu/°C |
Teplotní koeficient rozsahu | <0.08% čtení/°C |
Tlakový koeficient vstupu | <0.02% čtení/psi |
Typický čas ustálení | <750 msec, typický nad 5% plného rozsahu |
Doba zahřátí | 30 minut |
Provozní teplota | 10°C až 50°C |
Vlhkost při skladování | 0 až 95% relativní vlhkost, bez kondenzace |
Teplota při skladování | -20° až 80°C |
Integrita externích úniků | <1 x 10-09 (scc/sec He) |
Integrita úniku přes uzavřený ventil | U ventilek do 10K <0.1% plného rozsahu při 40 psig do atmosféry, ventilek 20K - 50K <1.0% plného rozsahu při 40 psig do atmosféry |
Příměsi materiálů v kontaktu s tekutinou | 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Nikl |
Povrchová úprava | Průměrné Ra 16µ inch |
Hmotnost | 3 lbs (1.4 kg) |
Shoda | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.