CMA10B Hmotnostní regulátor 15-14,000 sccm, kompaktní s rychlou odezvou
Hmotnostní regulátor průtoku (MFC) CMA10B je kompaktní model s rychlou odezvou využívající snímač průtoku na bázi mikroelektromechanických systémů (MEMS) pro aplikace s nekorozivními plyny. Přístroj je k dispozici v plném rozsahu průtoku od 15 do 14 000 sccm, N2 s regulačním rozsahem od pouhých 0,1 % plného rozsahu až do 100 % plného rozsahu a je k dispozici také jako průtokoměr. K dispozici jsou analogová (0 až 5 VDC) nebo digitální (RS485, PROFINET® nebo Modbus TCP/IP) komunikační rozhraní. Požadované napájecí napětí je jmenovité 24 VDC.
Ultrakrátká doba odezvy <100 msec
Regulační rozsah od 0,1 do 100 % plného rozsahu stupnice
Přesnost ±0,8 % nastavené hodnoty
Minimální drift nuly a rozpětí zajišťuje dlouhodobou reprodukovatelnost
K dispozici rozhraní pro povrchovou montáž pro kompaktní provedení plynového panelu
Vestavěný webový prohlížeč pro nastavení a diagnostiku
Specifikace
| Typ | Regulátor průtoku hmotnosti |
| Plný rozsah průtoku | 15-14,000 sccm (N2) |
| Maximální vstupní tlak | 80 psig |
| Normální provozní tlakový rozdíl |
15 až 7000 sccm: 10 až 45 psid (N2) 7001 až 14000: 15 až 45 psid (N2) |
| Zkušební tlak | 232 psi/16 bar |
| Praskací tlak | 1000 psi/70 bar |
| Regulační rozsah |
Digitální I/O: 0,1-100% plného rozsahu Analogové I/O: 0,2-100% plného rozsahu (typické) |
| Typická přesnost |
±0,8% nastavené hodnoty pro 20-100% plného rozsahu ±0,16% plného rozsahu pro <20% plného rozsahu (s kalibračním plynem N2) |
| Opakovatelnost | ±0,2% odečtu |
| Teplotní koeficient nulové hodnoty | ≤0,005% plného rozsahu/°C |
| Teplotní koeficient rozsahu | ≤0,06% odečtu/°C |
| Tlakový koeficient | <0,025% odečtu/psi |
| Čas odezvy |
≤100 ms typický nad 10% plného rozsahu, modely od 50 sccm do 5 slm plného rozsahu ≤150 ms typický nad 10% plného rozsahu, modely od 10 slm plného rozsahu (podle směrnice SEMI E-17-0600) |
| Doba zahřátí | ≤1 min |
| Provozní teplota | 10-50°C (32-122°F) |
| Teplota při skladování | 0-60°C (32-140°F) |
| Typ těsnění |
Kompatibilní s: Swagelok® 4 VCR® mužský povrchový montážní (s O-kroužkem) 0,25 palce Swagelok komprese |
| Integrita externích úniků | <1 x 10-09 (scc/sec He) |
| Integrita úniku přes uzavřený ventil | <0,1% maximálního plného rozsahu pomocí příkazu uzavření ventilu (pro zajištění žádného průtoku je vyžadován samostatný pozitivní uzavírací ventil) |
| Materiály ve styku s médiem | Hliník, Elgiloy®, ocel 20#, nerezová ocel, křemík, oxid křemičitý, karbid křemíku, Viton®, Glob Top |
| Materiál těsnění | Viton |
| Poloha ventilu | Obvykle uzavřeno |
| Signál příkazu nastavení bodu | 0-5 VDC (volitelné 0-10 VDC) |
| Požadavky na napájení | 24 VDC @ (±10%), <4 wattů |
| Signál vstupu/výstupu průtoku | 0-5 VDC (volitelné 0-10 VDC) |
| Analogový konektor I/O | 9-pinový Typ D |
| Hmotnost | 0,68 lbs (310 gramů) (s VCR přírubou) |
| Shoda | CE |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.