Moduly hmotnostních regulátorů
Moduly regulátorů hmotnostního průtoku MKS představují kompaktní řešení s vysokou hustotou pro integraci MKS MFC s moduly MKS Automation Platform PAC nebo CM. Moduly MFC podporují 15 nebo 9kolíkové analogové regulátory hmotnostního průtoku. Modul MFC má přímé mapování pinů MFC v poměru 1:1, takže připojené regulátory hmotnostního průtoku jsou plně napájeny a ovládány prostřednictvím plátku MFC. Každý modul MFC podporuje integraci 4 regulátorů hmotnostního průtoku MKS.
- Podporuje 15 nebo 9 pinové analogové regulátory hmotnostního průtoku.
- Přímé mapování pinů 1:1 regulátorů hmotnostního průtoku.
- Podpora integrace 4 regulátorů hmotnostního průtoku MKS
Specifikace
| Typ | Modul hmotnostního průtokového regulátoru |
| Rozlišení ADC | 14 bitů |
| Doplňkové napájení | 24 V ±5% |
| Tento vstup bude použit k napájení MFC připojených prostřednictvím IO konektoru. | |
| Každý výstupní napájecí proud pro MFC by měl být chráněn zvlášť. | |
| Spotřeba energie | 24 V ±5% |
| Anti-alias HW Filtrace | 200Hz ±20%, minimálně 6dB/oktáva |
| Minimální CMRR analogového vstupu | 50 dB, 0-1 kHz |
| Maximální integrální nelinearita analogového vstupu | ±2 LSB (14 bitů @ 14 V) |
| Počet kanálů AO | 16, single ended (4 pro každý MFC: testovací bod ventile, výstupní signál průtoku, volitelný vstup, výstup tlaku) |
| Rozsah napětí analogového vstupu | -2 V až 14 V |
| Maximální chyba výstupu přes celý rozsah | ±0.05% FS (při teplotě 20 - 30°C) |
| Frekvence vzorkování analogového vstupu | 6.25 kHz (160 µs, pro všechny 16 kanálů) |
| (Oversampling ADC je nastaveno na x32) | |
| Ochrana analogového vstupu | ESD dle IEC 61000-4-2 ±4 kV kontakt, zkrat na 24V, +15V nebo -15V |
| Počet kanálů AO | 4 single ended (1 pro každý MFC: vstup nastavení bodu) |
| Rozlišení DAC | 14 bitů |
| Maximální výstupní proud AO | 5 mA do zátěže 2 kOhm, 10 nF |
| Přesnost výstupu při 25°C | ±0.1% FS @ 5 V, ±0.05% Full Scale @ 10 V |
| Čas ustálení výstupu | ±2.5 mV za 1 ms do zátěže 2 kOhm, 10 nF |
| Ochrana analogového výstupu | ESD dle IEC 61000-4-2 ±4 kV kontakt, zkrat na 24V, +15V nebo -15V |
| Maximální napěťový úbytek digitálního výstupu v zapnutém stavu | 0.2 V do impedance 30 kOhm |
| Počet kanálů DO | 12 (3 pro každý MFC: otevření ventilu, uzavření ventilu, nulový průtok) |
| Maximální únikový proud digitálního výstupu vypnutý | 30 µA |
| Minimální dostupný proud digitálního výstupu v zapnutém stavu | 6 mA |
| Ochrana digitálního výstupu | 5V TVS, resetovatelný pojistka (25 mA PTC) |
| Logická úroveň | 5V TTL tri stav DO pro funkci přepisu ventilu |
| Aktivní vysoko a nízko. Vysoko otevírá řídicí ventil MFC, Nízko uzavírá ventil a plovoucí umožňuje řízení nastaveného bodu | |
| Minimální vstupní impedance | 150 kOhm |
| Maximální spotřeba energie na modul | Předpokládáme, že každý MFC spotřebuje 250 mA a všechny AO jsou plně načtené ≥24V_IO@1.5Amp, 24V_CORE@ 0.15Amp |
| Časování | Přepis ventilu 100 ms + doba odezvy (digitální výstup) |
| Provozní teplota | 0 až +55°C |
| Teplota skladování | -40 až 85°C |
| Výška nad mořem | Až 2000 metrů |
| Vlhkost | 5 až 85% relativní vlhkosti, nekondenční |
| Rozměry | 52.5 x 125 x 92.3 mm (Š x V x H) |
| Montáž | DIN lišta |
| Shoda | UL, CE, RoHS |
Chci cenovou nabídku
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Potřebujete se poradit?
Nejste si jistí, jaký přístroj bude pro vás ten pravý? Nebo byste nějaký potřebovali upravit na míru? Naši experti jsou připraveni vás do všeho zasvětit.
Chci se poradit
LABTECH s.r.o. Polní 23/340 Brno
Grafické zpracování GLIPS.